日报讯（全媒体记者 袁嘉翊 王洪 实习生 顾吉苏）近日，在帝京半导体科技（南通）有限公司检测室里，技术人员正在测量产品，这台最新引进的三坐标测量设备，可以实现公司主要半导体设备真空腔体产品的形位公差和尺寸的精密测量。

帝京半导体科技（南通）有限公司是一家专注于半导体设备真空腔体关键零部件技术开发及制造的科技创新型高新技术企业，去年落户我县华睿智能产业园，总投资预计1.6亿元，一期投资5000万元。公司先后投入科研项目资金1500万元，今年上半年完成销售产值3600万元。

“我们主打产品为半导体12英寸晶圆蚀刻机反应腔及关键部件，通过采用自主研发的超高洁净清洗技术，产品达到国际领先的超洁净度和耐腐蚀标准，打破国际巨头在关键零部件方面对中国的垄断。”公司数字化运营副总经理肖剑表示，“这款产品之前由国外大厂垄断，客户希望我们去开发这款产品。通过一年的研发，我们完成整个腔体模组的研发跟制造，现在已经顺利向客户供货。”

目前，公司拥有发明专利授权2项，实用新型专利授权20余项。今年上半年，公司还成功研发了一款半导体真空阀，已经交给合作客户进行测试。

今年，企业还与江苏大学研究生院进行合作，建立了大学生研发和实践基地，和江苏大学的4名研究生，共同研发半导体真空阀项目。“目前，市场上对这方面需要强烈，对我们的研发进度也提出了迫切的要求。今年，我们的目标是在如东成立研发室，将它打造成省级实验室。同时，我们还将再增加一个占地6000平方米的厂房，进一步扩大产能。”肖剑说。