（全媒体记者 张凯 曹建明 摄）

日报讯（全媒体记者 曹建明 吴梦凡 张平）走进南通艾佩科半导体前驱体材料及高纯电子特气生产项目现场，整体建筑已初具规模。南通艾佩科半导体材料有限公司总经理刘璧介绍：“目前项目15个建筑单体已经全部封顶，正在进行室外管网、道路硬化、消防管网等施工，预计10月份基本完工，投入试生产。”

作为市重大项目，南通艾佩科半导体前驱体材料及高纯电子特气生产项目由南通艾佩科半导体材料有限公司投资5亿元建设，于去年12月初开始施工。该公司是一家专注于电子行业用特种气体、电子化学品及相关配套服务的企业，产品涵盖了半导体前驱体、高纯电子气体、大宗气体等多个领域。其生产的硅烷、磷烷混合气等产品纯度可达到6N级别，填补了国内空白，为中国的半导体、军工行业发展作出贡献。

据悉，半导体特种气体指在半导体芯片、面板、LED生产中使用量少，但不可或缺的特殊气体。国标文件中对出厂的半导体气体的颗粒纯净度要求是99.99%，而艾佩科的工艺环节已经达到99.99995%。“因为我们产品的纯度较高，也会随之提升下游半导体生产产品的良率。”刘璧说，整个项目建成后将年产电子级四氯化钛800吨、电子级甲基三氯化硅200吨、半导体级三甲基铝2吨；高纯电子特气电子级三氯化硼300吨、电子级八氟环丁烷20吨；年分装超纯氮气100吨、超纯氩气100吨、超纯氦气15吨、超纯二氧化碳100吨、高纯三氟化氮30吨、超纯氢气5吨；年配制磷烷混合气1000瓶和60罐管束式集装箱、配制乙硼烷混合气500瓶和30罐管束式集装箱、配制硅烷混合气2000瓶；副产工业级三氯化硼5.8吨、工业级四氯化钛53.8吨、工业级甲基三氯化硅13.44吨、工业级八氟环丁烷1.3吨、工业级（光伏级）三甲基铝0.14吨，“产品半导体前驱体材料及高纯电子特气全部属于战略性新兴产业产品，预计全面达产后可实现年销售额3亿元左右，利税6000万元。”