日报讯（全媒体记者 曹雯雯 曹磊）江苏邑文微电子科技有限公司位于如东泛半导体产业园，这是一家租赁闲置厂房、员工不足50人的企业，虽然规模不大，但一季度已经实现了近1亿元的销售收入，而且凭借自主研发突破了一系列技术壁垒，成为半导体刻蚀和薄膜设备生产领域的后起之秀。

光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备是芯片制造过程中的三大核心设备，如果把芯片比作一幅平面雕刻作品，那么光刻机是打草稿的画笔，刻蚀机是雕刻刀，沉积的薄膜则是构成作品的材料。由于技术壁垒，长期以来，刻蚀和薄膜设备生产只能依赖进口，面临交货周期长、优先供应大品牌等困扰。

为解决市场“痛点”，邑文微电子瞄准这一细分领域，主攻半导体刻蚀和薄膜设备生产。除了提高制造实力，实现设备的高度自动化，公司还配备了超过2000平米的万级无尘室和全特气通入的千级无尘实验室，引进高层次人才，与高校院所开展产学研合作，增强自主创新能力。目前，研发的刻蚀和薄膜设备居于行业领先水平，新工艺及其解决方案已成功应用于国内多家研究所和量产型客户项目中。公司技术总监告诉记者孙文彬告诉记者，他们已经涉足碳化硅、氮化镓、砷化镓领域，生产的去胶机与进口设备相比，生产利用率更高、速率更快，成本优势和综合性价比更高，“在性能测试中，产能有50%以上的提升，所以有效地替代了国际主流产品。”

以领先技术优势这一核心竞争力，邑文微电子一举抓住进口替代的机遇，在半导体产业细分领域独领风骚，同时也构建了较高的客户壁垒。公司厂长唐秋琴介绍，冲破疫情影响，一季度企业依然拿到了比较充足的订单，实现销售近1亿元，“目前在手订单已经排到了6月份，计划全年实现销售约3亿元。”

未来，公司将继续深耕半导体细分领域，加大新产品研发力度，用创新打破半导体装备倚重进口的路径依赖。目前，公司正在开发ICP刻蚀、PECVD、ALD三个项目，预计今年10月份问世。